仪器工程测量（precisionengineeringsurvey）是指以毫米级或更高精度展开的工程测量。最重要的科学试验和简单的大型工程，例如高能加速器设备部件的加装、卫星和导弹升空轨道及仪器机件传送带的铺设等，都要展开仪器工程测量。除常规的测量仪器和方法外，经常须要设计和生产一些专用的仪器和工具。计量、激光、电子计算机、摄影测量、电子测量技术以及自动化技术等也已应用于仪器工程测量工作中。

仪器工程测量技术还包括仪器地直线定线、测量角度（或方向）、测量距离、测量高差以及设置平稳的精密测量标志。从测量方案设计、实地施测到成果处置和利用的各个阶段中都要利用误差理论展开分析。定线　一般来说用仪器经纬仪展开，以其望远镜的视准面为基础，从而测定目标点的纵向背离值。拒绝低精确度时能用专用的光束望远镜。

张紧的弦线也可用于基准线，后用读数显微镜测量设备部件距离基准线的垂距。激光束也可作为基准线，有时使激光束经菲涅耳波带板干预构成光点或暗十字丝像，因应光电接管靶展开光束测量，如果激光束在真空管道中传输，则波带板光束法精度可以约光束长度的10mm数量级。测角　角度（或方向）用经纬仪测量。

观测时要用必要的方法增加或防止望远镜调焦误差及其他仪器误差的影响，要自由选择或建构较好的观测条件以巩固外界因素的不良影响，要尽量减少仪器和目标偏心劣的影响，适当时可在观测成果上重新加入仪器竖轴弯曲修正数及测微器读数的行差修正数。测距　较短距离的精密测量，主要用因瓦合金做成的线尺或带上尺，配有特制的对中设备和读数显微镜展开。

丈量时尺子的拉力要维持恒定，可使用空气轴承的滑轮或刀口受力,要提升读数的精度,可应用于读数显镜或专门的精密机械测微装置，使读数误差增加至微米级。用激光干预的方法测量距离，其误差和波长为同一数量级。双频激光干预测长仪,可以测量长至50米左右的距离,其反光镜要沿导轨移动，并能用以准确测量其他尺子的长度。

较长的距离宜用仪器的光电测距仪测量,测距约2.5公里，测距的比较精度平均10mm。测高　测量高差一般来说用仪器水准仪展开。当视线较短至5～10米时，测量高差的精度可以超过0.05毫米左右。

用具有机械测微装置的仪器水准器加装设备时，测量距离将近1.5米的两点高差精度，可以超过0.01毫米左右。用仪器的液体静力水准仪测量高差的误差可增加至几个微米。应用于电子技术辨别水准器气泡互为的精度为0.5mm。

标志　仪器工程测量要在适当的标志上展开。平面标志可让使测量仪器在标志上面准确所在之处。为此经常使用某种强迫对中装置。

例如球与圆柱孔因应的对中装置，可使仪器在标志上的对中误差大于0.1毫米,仪器研磨的轴与轴套给定的装置，可使对中误差大于0.01毫米。在仪器工程测量工作中，拒绝标志与设备或设备基础准确地、牢固地相连。

一项工程要有若干个意味著方位十分平稳的平面和高程基准点,最差用基岩标志作为基准点;在软土地区能用埋藏钢管标志作为高程基准点，用推倒锤作为平面基准点。推倒锤的标志锚固在地表下几十米深处，标志上系一根柔性丝，用浮力把它向下向上。丝上任何一点的平面坐标与地下标志的平面坐标完全一致。

在较小的施工场地上，一般来说再行设置一系列仪器控制点作为放样的依据，以使多样的部件准确加装在设计方位上。高程掌控一般使用水准网。平面掌控网可以是测角网、边角网、测边网等。也可以埋设三维网，同时测量各点的平面坐标和高程。

掌控网的形状经常不受工程形状所制约,例如线形工地上宜埋设直伸形网,环形工地上宜埋设环形网。仪器工程掌控网常有较多的多余观测，获取可信的校核并提升测量以此类推点座标和高程的精度。.。

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